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J-GLOBAL ID:200903087386963707

高強度高信頼性窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小塩 豊
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993247073
Publication number (International publication number):1995101775
Application date: Oct. 01, 1993
Publication date: Apr. 18, 1995
Summary:
【要約】【目的】 強度に優れ、かつまた強度のばらつきが小さい信頼性の高い窒化ケイ素質焼結体を提供する。【構成】 粒界相とβ型窒化ケイ素粒子を主体とする窒化ケイ素質焼結体において、粒界相はイッテルビウムを含む酸化物あるいは酸窒化物よりなり、β型窒化ケイ素粒子は焼結体の切断面を観察したときに粒径が10μm以上の粒子が5面積%以下の量でかつ粒径が3μm以上10μm未満の粒子が5面積%以上30面積%以下の量で残部が3μm未満の粒子である窒化ケイ素質焼結体。
Claim (excerpt):
粒界相とβ型窒化ケイ素粒子を主体とする窒化ケイ素質焼結体において、粒界相はイッテルビウムを含む酸化物あるいは酸窒化物よりなり、β型窒化ケイ素粒子は焼結体の切断面を観察したときに粒径が10μm以上の粒子が5面積%以下の量でかつ粒径が3μm以上10μm未満の粒子が5面積%以上30面積%以下の量で残部が3μm未満の粒子であることを特徴とする窒化ケイ素質焼結体。
FI (3):
C04B 35/58 102 C ,  C04B 35/58 102 D ,  C04B 35/58 102 K
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平4-219373

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