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J-GLOBAL ID：200903087443797703

単結晶ウエハおよびその製造方法

Inventor： ゲイリー シェン-チォン ヤング
Applicant, Patent owner： アメリカン クリスタル テクノロジー
Agent (1)： 高橋 明夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997305488
Publication number (International publication number)：1999162799
Application date： Nov. 07, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】 研削によるオリフラを備えるウエハにおけるような表面損失を生じることなく、へき開を容易に行うことができる応力集中ノッチを有する改良型ウエハおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】 改良型商用単結晶ウエハ(250)は、エンドユーザに出荷される状態において、完全円の形態を有し、所定のへき開面を正確に明示する「応力集中ノッチ」(172)を備えている。この応力集中ノッチは、単結晶インゴットを所定の最終製品径に機械加工した後でスライス状にのこ切断する前に、そのインゴットの長さ方向に沿って適切に方位された切込みを設けることによって、バルクのウエハに導入される。この応力集中ノッチはウエハの第1および第2面を一意的に明示することができる。

Claim (excerpt)：

仕上端部と、少なくとも1つの仕上面と、ウエハの選択された自然へき開面を明示する応力集中ノッチを備える円面体からなることを特徴とする単結晶ウエハ。