Pat
J-GLOBAL ID:200903087466469916

基準反射体の汚れ検出方法、反射率測定装置、および記憶媒体

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 吉田 稔 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997140757
Publication number (International publication number):1998082733
Application date: May. 30, 1997
Publication date: Mar. 31, 1998
Summary:
【要約】【課題】 基準反射体の汚れを誤検知なく正確に検出できる基準反射体の汚れ検出方法、およびその基準反射体の汚れ検出方法を採用した反射率測定装置、ならびにその反射率測定装置を動作させるためのプログラムを格納した記憶媒体を提供する。【解決手段】 互いに異なる反射率を有する複数の基準反射体からの反射光をそれぞれ測定し(S11)、それらの測定値を補正した補正後の測定値と予め求めておいた基準反射体の反射率とから検量線を求め(S12)、その検量線と予め求めておいた基準検量線とを比較して、反射率を縦軸とし補正後の測定値を横軸として検量線および基準検量線を描いたときに、検量線が縦軸と交わる点と基準検量線が縦軸と交わる点とを求め、それら両点の関係に基づいて基準反射体が汚れているか否かを判断する(S14)。
Claim (excerpt):
互いに異なる反射率を有する複数の基準反射体からの反射光をそれぞれ測定し、それらの測定値を補正した補正後の測定値と予め求めておいた前記基準反射体の反射率とから検量線を求める検量線算出ステップと、前記検量線算出ステップで求めた検量線と予め求めておいた基準検量線とを比較して、前記反射率を縦軸とし前記補正後の測定値を横軸として前記検量線および前記基準検量線を描いたときに、前記検量線が縦軸と交わる点と前記基準検量線が縦軸と交わる点とを求め、それら両点の関係に基づいて前記基準反射体が汚れているか否かを判断する汚れ判定ステップとを実行することを特徴とする、基準反射体の汚れ検出方法。
IPC (3):
G01N 21/27 ,  G01N 21/01 ,  G01J 1/00
FI (4):
G01N 21/27 B ,  G01N 21/27 F ,  G01N 21/01 A ,  G01J 1/00 A

Return to Previous Page