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J-GLOBAL ID：200903087467045753
走査型分析顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991245787
Publication number (International publication number)：1993126725
Application date： Sep. 25, 1991
Publication date： May. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】 対物レンズを含む光学系により絞った光ビームで試料を走査し、この光ビームと試料との相互作用による光、熱あるいは音を検出して、上記光ビームが照射された試料の部分を分析する走査型分析顕微鏡において、顕微鏡倍率に応じて分析値が変動することを防止する。【構成】 光ビーム11を走査させる機構として、対物レンズ17を含むプローブ15を全体的に試料23に対して相対移動させる機構を用い、そしてこの相対移動の幅を変えて顕微鏡倍率を変更させる。
Claim (excerpt)：
対物レンズを含む光学系により絞った光ビームで試料を走査し、この光ビームと試料との相互作用による光、熱あるいは音を検出して、前記光ビームが照射された試料の部分を定量的または定性的に分析する走査型分析顕微鏡において、前記光ビームを走査させる機構として、前記対物レンズを含む光学系を全体的に試料に対して相対移動させ、この相対移動の幅が変更可能とされた機構が用いられたことを特徴とする走査型分析顕微鏡。
IPC (5)：
G01N 21/27
, G01N 21/00
, G01N 21/65
, G01N 29/00 501
, G02B 21/06
