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J-GLOBAL ID：200903087495441788

放電反応装置

Inventor： 神谷 一郎 ,  新荘 良一 ,  村上 武司 ,  西岡 由紀子 ,  原田 稔
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 熊谷 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993120868
Publication number (International publication number)：1994126156
Application date： Apr. 22, 1993
Publication date： May. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体製造プロセスに無害で、高性能、長寿命で信頼性が高いクリーンなオゾンを発生することができる放電反応装置を提供すること。【構成】 高圧電極3と接地電極4の間に誘電体2を介在させ、該誘電体2と高圧電極3及び/又は接地電極4の間に無声放電及び/又は沿面放電を発生させ、該放電空間内で、該放電空間内を通過又は該放電空間内に保有する物質を反応させる放電装置において、誘電体材料2に高純度に精製製造された石英ガラス(SiO2)又は高純度に精製され結晶化したアルミナの単結晶サファイア又は高純度に精製された酸化アルミニウムを焼結してなる高純度アルミナを用いたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

高圧電極と接地電極の間に誘電体を介在させ、該誘電体と前記高圧電極及び/又は前記接地電極の間に無声放電及び/又は沿面放電を発生させ、該放電空間内で、該放電空間内を通過又は該放電空間内に保有する物質を反応させる放電反応装置において、前記誘電体材料に99.99重量%以上の高純度に精製製造された石英ガラス(SiO2)を使用したことを特徴とする放電反応装置。

IPC (3)：

B01J 19/08 ,  C01B 13/11 ,  H01T 19/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭62-091406
  
• 特開平2-245236
  
• 特開平1-144560
  
• 特開昭61-067059
  
• 特開平2-284396