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J-GLOBAL ID：200903087499075808

位置検出方法、位置検出装置、露光方法、露光装置、記録媒体、及びデバイス製造方法

Inventor： 吉田 幸司 ,  國米 祐司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000360895
Publication number (International publication number)：2001237177
Application date： Nov. 28, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 物体上に形成されたマークの位置を精度良くかつ迅速に検出する。【解決手段】 撮像装置がマークを撮像することによって得られる撮像信号(生波形)、及び、微分演算装置が撮像信号を微分することによって得られる微分波形のそれぞれに基づいて、マーク情報演算装置が波形ごとに推定マーク位置等のマークの位置に関するマーク情報をそれぞれ得る(ステップ201〜206)。そして、位置演算装置が、求められたマーク情報に基づいて、マーク情報の重み付け演算等を行って、マークの位置を検出する(ステップ207,208)。この結果、撮像信号に重畳したノイズの態様に応じて、精度良くマークの位置を検出することができる。

Claim (excerpt)：

物体上に形成されたマークの位置情報を検出する位置検出方法であって、前記マークを撮像する第1工程と;前記第1工程で得られた信号波形の所定階の微分波形を求める第2工程と;前記微分波形と所定のテンプレート波形との相関関係に基づいて、前記マークの位置情報を検出する第3工程とを含む位置検出方法。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (7)：

G01B 11/00 C ,  G01B 11/00 H ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W ,  G01B 11/24 F ,  G01B 11/24 K