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J-GLOBAL ID：200903087509231269

原子間力顕微鏡における試料観察方法および原子間力顕微鏡

Inventor： 山 中 一 司 ,  中 本 圭 一
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001081805
Publication number (International publication number)：2002277378
Application date： Mar. 22, 2001
Publication date： Sep. 25, 2002
Summary：

【要約】【課題】 Q値計測の高速化が実現できる原子間力顕微鏡を提供すること。【解決手段】 Q値計測の際、スイッチ14が接続される。共振初期状態では、探針20は試料21に接触していて、カンチレバーは共振状態にあり、誤差増幅器13の出力信号はゼロである。ここで試料21の走査を開始すると、探針20と接触する試料部分の物性に応じて、カンチレバー1の共振周波数が変化し、BPF11の出力信号の位相が変化する。その結果、位相比較器12の出力電圧Vpが変化し、これに起因する誤差増幅器13の反転出力電圧VEが発生する。出力VEは設定電圧V0と加算されてVCO8に入力され、カンチレバー1は常に共振周波数で振動する。この状態でのカンチレバーの振幅は振幅検出器17で検出され、像作成手段19は、予め求められた校正曲線または感度係数を用いて、カンチレバーの振幅をQ値に変換する。

Claim (excerpt)：

カンチレバーに取り付けられた探針を試料に接触させた状態で、カンチレバーが常に共振状態となるようにカンチレバーを加振させ、その共振状態におけるカンチレバーの振幅を検出し、その検出された振幅に基づいてカンチレバーのQ値を求めることを特徴とする原子間力顕微鏡における試料観察方法。

IPC (2)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30

FI (2)：

G01N 13/16 A ,  G01B 21/30

F-Term (14)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069DD15 ,  2F069GG01 ,  2F069GG19 ,  2F069GG62 ,  2F069GG72 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ00 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069NN00