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J-GLOBAL ID：200903087513820228
超微粒子膜の物性制御方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991229537
Publication number (International publication number)：1993044045
Application date： Aug. 15, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 微粒子膜を形成した後において超微粒子膜の物理的性質や電気的特性、化学的性質その他の物性を簡単にコントロールないし調整できるようにする。【構成】 ガスデポジション法によって回路基板1の上に超微粒子膜2を形成した後、超微粒子膜2にレーザ光15を照射して加熱し、超微粒子膜2の物理的性質や電気的特性、化学的性質などを調整する。
Claim (excerpt)：
超微粒子膜に光を照射することにより超微粒子膜の物性を変化させることを特徴とする超微粒子膜の物性制御方法。
IPC (4)：
C23C 16/56
, H01B 13/00 503
, H01L 21/20
, H05K 1/16
