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J-GLOBAL ID：200903087520085274

照明装置、走査型露光装置及びそれらを用いたデバイス製造方法

Inventor： 比内 修 ,  小杉 雅夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994188930
Publication number (International publication number)：1995283131
Application date： Jul. 19, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 パルス光源を用い、露光量のバラツキの少ない走査型の照明装置、走査型露光装置及びそれらを用いたデバイス製造方法を得ること。【構成】 パルス発振する光源を有する照明系からの複数のパルス光で走査可能な被照射面を照明する際、前回のパルス光による照射光量に基づいて制御手段により次回のパルス光で該被照射面を照射する照射領域の位置を走査方向に調整していること。

Claim (excerpt)：

被走査面に多数個のパルス光を順次照射する照明装置において、先に照射したパルス光の強度に応じて次に照射するパルス光の走査方向に関する照射位置を変える照射位置変更手段を有することを特徴とする照明装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 518