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J-GLOBAL ID：200903087522207890
レ-ザ気体移送装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田中 隆秀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992313709
Publication number (International publication number)：1994164025
Application date： Nov. 24, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 レーザ気体循環路を循環するレーザ発振用気体中に潤滑油ミスト、金属粉等の不純物が混入しないようにすること。【構成】 レーザ気体移送装置Uは、レーザ発振用気体をレ-ザ発振管に循環させるレーザ気体循環路8に配置された気体循環用ブロア9を有している。この気体循環用ブロア9に一体的に連結されたブロア回転軸14は、ジャーナル気体軸受け27、スラスト気体軸受け28により支持されている。前記軸受け27,28には、軸受け気体供給装置U1により、前記レーザ気体循環路8のレーザ発振用気体の圧力よりも高い圧力のレーザ発振用気体が供給される。
Claim (excerpt)：
レーザ発振用気体をレ-ザ発振管に循環させるレーザ気体循環路に配置された気体循環用ブロアと、この気体循環用ブロアに一体的に連結されたブロア回転軸と、このブロア回転軸を回転自在に支持する軸受けと、前記ブロア回転軸を回転駆動するモータと、前記ブロア回転軸、軸受け及びモータの外側を覆うケーシングとを備えたレーザ気体移送装置において、下記の要件(Y01)〜(Y02)を備えたことを特徴とするレーザ気体移送装置、(Y01) 前記軸受けは、気体軸受けにより構成されたこと。(Y02) 前記気体軸受けに前記レーザ気体循環路のレーザ発振用気体の圧力よりも高い圧力のレーザ発振用気体を供給する装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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