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J-GLOBAL ID：200903087533920113

微小変位素子、光偏向器、走査型プローブ顕微鏡、および情報処理装置

Inventor： 島田 康弘 ,  伏見 正弘 ,  八木 隆行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994051734
Publication number (International publication number)：1995260802
Application date： Mar. 23, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 そりの無い、大きな剛性を持つ平板駆動部を備えた微小変位素子を提供する。【構成】 トーションレバー型光偏向器は、一面に絶縁層2を有する基板1を備え、基板1の絶縁層2上には固定電極3が形成されている。絶縁層2上には矩形板状のミラーとなるレバー部8が形成され、このレバー部8の一端部は固定電極3と空隙部4を介して位置している。そして、レバー部8にはレバー部8をねじり回転可能にする為に、2つの梁9が一直線上に互いに反対向きで突出しており、各梁9の先端はそれぞれ絶縁層2上にてレバー部8を支持するための支持部10となっている。さらに、レバー部8上には、レバー部8の変形を防ぎ、かつ、レバー部8の剛性を補強するための構造体11が形成されている。

Claim (excerpt)：

基板上に2つの梁により回転可能に支持されて前記基板との間に空隙を有する平板可動部と、該平板可動部を回転駆動させるための駆動手段とを有する微小変位素子において、前記平板可動部上に3次元構造体が形成されていることを特徴とする微小変位素子。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66