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J-GLOBAL ID：200903087543757814
研磨方法及び研磨装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993342191
Publication number (International publication number)：1995164287
Application date： Dec. 15, 1993
Publication date： Jun. 27, 1995
Summary：
【要約】【目的】 種々の形状のワークでも研磨することができるとともに、研磨能率を向上するこがとできる研磨方法及び装置を得る。【構成】 容器18内に研磨剤粒子21の中にワーク13を配するとともに、ワーク13に対して、振動子11及びホーン12を介して超音波ねじり振動を与え、あるいはこの超音波ねじり振動に加えてボールねじ27の往復回転による低周波振動を同時に与える。
Claim (excerpt)：
研磨剤の中に研磨対象であるワークを配するとともに、前記ワークに対して、超音波ねじり振動を与えることを特徴とする研磨方法。
IPC (2)：
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