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J-GLOBAL ID：200903087586709112

走査近接場光学顕微鏡による試料観測方法および走査近接場光学顕微鏡用超平坦サファイア基板

Inventor： 腰原 伸也 ,  宮澤 貴士 ,  斎木 敏治 ,  吉本 護 ,  石川 謙
Applicant, Patent owner： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999082648
Publication number (International publication number)：2000275160
Application date： Mar. 25, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】 特殊基板を用いて、紫外域にバンドギャップ等の光学特性がある試料を高く優れた分解能で観測することのできる、新しい走査近接場光学顕微鏡による試料観測方法および走査近接場光学顕微鏡用超平坦サファイア基板を提供する。【解決手段】 紫外用ファイバープローブ(1)を備えた走査近接場顕微鏡により試料を観測する方法において、試料用基板として超平坦サファイア基板(2)を用いる。

Claim (excerpt)：

紫外用ファイバープローブを備えた走査近接場光学顕微鏡により試料を観測する方法において、試料用基板として超平坦サファイア基板を用いることを特徴とする走査近接場光学顕微鏡による試料観測方法。

IPC (2)：

G01N 13/10 ,  G02B 21/34

FI (2)：

G01N 37/00 V ,  G02B 21/34

F-Term (10)：

2H052AA07 ,  2H052AA09 ,  2H052AC05 ,  2H052AC12 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AC34 ,  2H052AE03 ,  2H052AF06 ,  2H052AF11