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J-GLOBAL ID：200903087598666540

基板搬送プレート及びその処理装置

Inventor： 鈴木 英幸 ,  川上 順三
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 藤本 博光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997338367
Publication number (International publication number)：1999177286
Application date： Dec. 09, 1997
Publication date： Jul. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 基板の大きさが変更される場合でも、段取り作業を省略し、構成の複雑化を防止し、作業の迅速化や効率化を図れる基板搬送プレート及びその処理装置を提供する。【解決手段】 大きさの異なる複数種のプリント基板1を搭載面4に搭載可能な搬送プレート3と、搭載面4に設けられた真空吸着領域5と、真空吸着領域5の周辺部に設けられた複数のガイド溝孔6とを備える。そして、搬送プレート3に、真空ポンプ10に着脱自在に接続される真空保持容器8を設け、真空吸着領域5を複数の吸着孔から構成し、真空保持容器8と複数の吸着孔とを連通管を介し連設する。搬送プレート3自体が搬送されるので、プリント基板1のサイズにかかわらず、段取り替えなしに搬送できる。また、プリント基板1の端部等に触れることがないので、プリント基板1の歪みや割れ等を減少させることが可能になる

Claim (excerpt)：

大きさの異なる複数種の基板を搭載面に搭載可能な搬送プレートと、該搭載面に設けられた負圧吸着領域と、この負圧吸着領域の周辺部に設けられた複数のガイド溝孔とを含み、前記搬送プレートに、負圧引き用ポンプに着脱自在に接続される負圧保持容器を設け、前記負圧吸着領域は複数の吸着孔を備え、前記負圧保持容器と該複数の吸着孔とを連通部材を介し連ねたことを特徴とする基板搬送プレート。

IPC (3)：

H05K 13/02 ,  B65G 49/06 ,  H05K 13/04

FI (3)：

H05K 13/02 V ,  B65G 49/06 A ,  H05K 13/04 Q