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J-GLOBAL ID：200903087611936919

ミクロ構造素子の製造方法

Inventor： ペーター、ヘセル ,  ゲールハルト、ホフマン ,  ユルゲン、ランゲン ,  ホルガー、ライネケ
Applicant, Patent owner： ビーエーエスエフ アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 田代 烝治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992319889
Publication number (International publication number)：1993273758
Application date： Nov. 30, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ポリマーを画像に基づきX線で照射することにより、数μmないしミリメートル範囲の構造深さを有するミクロ構造素子を製造する新規方法を提供する。【構成】 該方法は、ポリマーとして脂肪族ポリエステル使用することよりなる。

Claim (excerpt)：

ポリマーを画像に基づきX線で照射することにより、数μmないしミリメートル範囲の構造深さを有するミクロ構造素子を製造する方法において、使用するポリマーが脂肪族ポリエステルであることを特徴とする、ミクロ構造素子の製造方法。

IPC (2)：

G03F 7/039 501 ,  C08G 63/08 NLW