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J-GLOBAL ID：200903087637978008

露光照明装置

Inventor： 菅沼 洋 ,  久保田 重夫
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 山口 邦夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995339192
Publication number (International publication number)：1997179309
Application date： Dec. 26, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】装置の小型化、保守・維持の簡易化、低価格化を実現すると共に、露光照明光の光強度分布の均一性を高める。【解決手段】光源部1が複数個の固体レーザ1a,1b・・・を備えることにより、装置の小型化、保守・維持の簡易化、低価格化を実現する。光源部1が出射する複数本の光ビームを1本の光ビームに結合する結合光学系(2,3)を備えることにより、露光照明光の光強度分布の均一性を高める。結合光学系として、カタディオプトリック光学系、光ファイバーバンドル、回折格子、レンズアレイなどを用いる。光源部1に複数の固体レーザ1a,1b,・・・を用いているから、一部の光源が欠けても、装置全体としては出力が低下するけで中断することなく運転を続行することができる。本発明を露光装置に適用した場合、製造ラインが停止することがないから、稼働率が向上する。

Claim (excerpt)：

半導体装置や液晶表示装置などの電子デバイスの製造工程においてマスク上に形成された回路などのパターンを基板上に露光する際に使用される露光装置などの照明用光源装置として用いられる露光照明装置であって、複数個の固体レーザ発振から成る光源部と、該光源部が出射する複数本の光ビームを1本の光ビームに結合する結合光学系とを備えたことを特徴とする露光照明装置。