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J-GLOBAL ID：200903087641105477

平坦性に優れた透明導電性フィルムおよびその製造法

Inventor： 宮崎 龍法 ,  松本 賢次 ,  高瀬 純治 ,  藤井 貞男
Applicant, Patent owner： 鐘淵化学工業株式会社
Agent (1)： 伊丹 健次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993059587
Publication number (International publication number)：1994251631
Application date： Feb. 23, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【構成】 透明フィルム基板上に、酸素及び水蒸気に対して実質的に不透過性を有する透明の無機系バリヤー性薄膜を5〜100nmの厚みで形成し、さらに該バリヤー性薄膜の上に透明導電性薄膜を20〜400nmの厚みで形成してなり、酸素透過度が5cc/m2/day 以下で水蒸気透過度が5g/m2/day 以下であり、且つ100mm×100mmの透明導電性フィルムの一辺の中央部を保持して釣り下げて測定したときの曲率半径が50mm以上であることを特徴とする透明導電性フィルムで、成膜条件をコントロールすることにより得られる。【効果】 導電性、酸素及び水蒸気バリヤー性に優れるとともに、平坦性に優れている。

Claim (excerpt)：

透明フィルム基板上に、酸素及び水蒸気に対して実質的に不透過性を有する透明の無機系バリヤー性薄膜を5〜100nmの厚みで形成し、さらに該バリヤー性薄膜の上に透明導電性薄膜を20〜400nmの厚みで形成してなり、酸素透過度が5cc/m2/day 以下で水蒸気透過度が5g/m2/day 以下であり、且つ100mm×100mmの透明導電性フィルムの一辺の中央部を保持して釣り下げて測定したときの曲率半径が50mm以上であることを特徴とする透明導電性フィルム。

IPC (4)：

H01B 5/14 ,  C01G 15/00 ,  C23C 14/08 ,  H01B 13/00 503

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-108614
  
• 特開平4-089236
  
• 特開平4-306513