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J-GLOBAL ID：200903087644806921
多関節アーム式搬送装置及びその調整方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 眞吉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992126484
Publication number (International publication number)：1993318352
Application date： May. 19, 1992
Publication date： Dec. 03, 1993
Summary：
【要約】【目的】位置ずれ調整を容易にかつ短時間で行う。【構成】ロータリエンコーダ38で軸16の回転角θをベルト41を介して検出し、ロータリエンコーダ48で軸26の回転角φをベルト51を介して検出する。初期化信号に応答して、回転角θ及びφを読み込み、軸16の初期回転角をθ0とし軸26の初期回転角をφ0としたとき、軸16のみをθ0-θ-(φ0-φ)だけ回転させ、次に、軸16及び軸26を共にφ0-φだけ同期回転させることにより、搬送装置を初期状態にする。搬送装置を用いてウェーハ搬送中に、スリップにより軸16、26の回転とステップモータ18、28の回転との間にずれが生じて異常停止した場合には、多関節アーム式搬送装置を初期状態にさせた後、スイッチ64を操作することにより、動作異常を正常化する。
Claim (excerpt)：
軸(16、26)をステップモータ(18、28)で回転駆動して、多関節アーム(12〜14)を伸縮及び回転させることにより、アーム先端部で対象物(W)を搬送する多関節アーム式搬送装置において、該軸について、入力軸(39、49)が該軸の回転と連動回転し、基準回転角に対する回転角Φを検出するロータリエンコーダ(38、48)と、該多関節アームが所定状態(2〜4)のときの該軸の初期状態からの回転角Φiを設定する回転角設定手段(65)と、該多関節アームを該所定状態にするために該ステップモータに所定個数のパルスを供給した後、該ロータリエンコーダが検出した回転角Φを読み込み、初期回転角をΦ0としたとき、Φ-Φ0-Φiが許容範囲内であるかどうかを判定する正常/異常判定手段(61、82、85、88、91、94、97)と、該差が許容範囲外と判定された場合には、搬送動作を停止させる異常停止手段(61、98)と、スイッチ(64)の操作に応答して、該ロータリエンコーダの出力を該軸の該初期回転角Φ0として読み込み、該初期回転角Φ0を更新する初期回転角更新手段(61、98)と、を有することを特徴とする多関節アーム式搬送装置。
IPC (4)：
B25J 9/10
, B25J 13/08
, G05B 19/19
, H01L 21/68
