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J-GLOBAL ID：200903087683848895

研磨材および研磨方法

Inventor： 西山 秀美 ,  田中 拓也
Applicant, Patent owner： 古河電気工業株式会社
Agent (1)： 長門 侃二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996015990
Publication number (International publication number)：1996290356
Application date： Jan. 31, 1996
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：

【要約】【課題】 速い研磨速度と高い研磨精度を両立させることができる研磨材と、それを用いた研磨方法を提供する。【解決手段】 この研磨材は、ASTM-D2240で規定する硬度がショアD60〜83であるポリウレタン樹脂のマトリックス85〜50重量%と、前記マトリックス中に分散された研磨砥粒15〜50重量%とから成り、発泡倍率が2〜17倍であり、上定盤1、下定盤2に貼着され、これら定盤の間にキャリア4の孔内に収容された被研磨体5の両面を研磨するために用いられる。

Claim (excerpt)：

ASTM-D2240で規定する硬度がショアD60〜83であるポリウレタン樹脂のマトリックス85〜50重量%と、前記マトリックス中に分散された研磨砥粒15〜50重量%とから成り、発泡倍率が2〜17倍であることを特徴とする研磨材。

IPC (8)：

B24B 37/00 ,  B24B 7/17 ,  B24D 3/32 ,  C08G 18/08 NGR ,  C08K 3/00 ,  C08L 75/04 NFY ,  C08G 18/08 ,  C08G101:00

FI (6)：

B24B 37/00 C ,  B24B 7/17 Z ,  B24D 3/32 ,  C08G 18/08 NGR ,  C08K 3/00 ,  C08L 75/04 NFY