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J-GLOBAL ID：200903087694958838

光学特性測定装置

Inventor： 飯田 昌世
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994154815
Publication number (International publication number)：1996021796
Application date： Jul. 06, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 測定の再現性が高い光学特性測定装置を提供する。【構成】 光源1と、該光源からの光束を周期的に第1光束又は第2光束に振り分ける光束分割装置4と、該第1光束の光軸上に配置した被測定物からの光束を受光して電気信号に変換できるよう配置した第1受光部8と、該第2光束を受光して電気信号に変換する第2受光部7と、前記第1受光部と前記第2受光部からの出力の比をとる比較手段14とで構成した。

Claim (excerpt)：

光源と、該光源からの光束を周期的に第1光束又は第2光束に振り分ける光束分割装置と、該第1光束の光軸上に配置した被測定物からの光束を受光して電気信号に変換できるよう配置した第1受光部と、該第2光束を受光して電気信号に変換する第2受光部と、前記第1受光部と前記第2受光部からの出力の比をとる比較手段とを有したことを特徴とする光学特性測定装置。

IPC (3)：

G01N 21/59 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/01