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J-GLOBAL ID:200903087699728504
プローブとそれを用いたコンタクト装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
尾川 秀昭
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002328761
Publication number (International publication number):2004163228
Application date: Nov. 12, 2002
Publication date: Jun. 10, 2004
Summary:
【課題】コンタクト装置に使用するプローブに半田等の軟らかな電極のくずを、多くこびりつく前に簡単に除去できるようにし、電極のくずが多くこびりついてプローブと例えば半田ボール等の電極との接触面積が狭められて検査精度の低下、測定ミスが生じることを未然に防止できるプローブ及びそのプローブを使用するコンタクト装置を提供する。【解決手段】プローブ3を、軸状部9を有する第1のプローブ素子4と、該プローブ素子4の軸状部9が慴動自在に嵌合される無底筒状の第2のプローブ素子6と、該二つのプローブ素子4・6間に縮設状に介在するスプリング5とで構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
一端が電極、配線等と接触する接触端とされ、他端側が軸状部とされた第1のプローブ素子と、
一端が電極と接触する接触端とされ、上記第1のプローブ素子の上記軸状部が慴動自在に嵌合される無底筒状の第2のプローブ素子と、
互いに接触端が外側を向く上記第1と第2のプローブ素子間に縮設状に介在するスプリングと、
からなることを特徴とするプローブ。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (11):
2G011AA09
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AB04
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AC00
, 2G011AC05
, 2G011AC13
, 2G011AE01
, 2G011AF07
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