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J-GLOBAL ID：200903087730021961

FAシステム

Inventor： 関家 一馬
Applicant, Patent owner： 株式会社ディスコ
Agent (1)： 秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993237284
Publication number (International publication number)：1995060580
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Mar. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 バーコード表示物の表面汚れや傷等に起因してIDの誤認が生じないようにした、ダイシング装置等加工装置のFAシステムを得る。【構成】 被加工物の加工条件等の情報の全部又は一部を記録するメモリーと、このメモリーの情報を電波に変換する回路とから成る電波式タグが、被加工物毎にフレーム等を介して装着されており、その電波式タグが発生する電波を電波リーダーが受信して加工装置の制御を行うようにする。

Claim (excerpt)：

被加工物の加工条件等の情報の全部又は一部を記録するメモリーと、このメモリーの情報を電波に変換する回路とから成る電波式タグが、被加工物毎にフレーム等を介して装着されており、その電波式タグが発生する電波をリーダーが受信して加工装置の制御を行うようにしたFAシステム。

IPC (2)：

B23P 23/02 ,  H01L 21/301

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ライン情報伝達システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-169746   Applicant：積水化学工業株式会社