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J-GLOBAL ID:200903087772767718

位置決め装置および位置決め方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 八田 幹雄 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000019001
Publication number (International publication number):2001209434
Application date: Jan. 27, 2000
Publication date: Aug. 03, 2001
Summary:
【要約】【課題】 位置決め制御のゲインを高く設定しても、位置決め制御の発散が起こらないようにする。【解決手段】 テーブル(14)の振動成分を抽出し、抽出された振動成分に基づいて当該振動成分を打ち消すための振動成分を生成し、抽出された振動成分と生成された振動成分とを合成する。
Claim (excerpt):
移動体の位置決めを行なう位置決め装置において、前記移動体の振動成分を抽出する振動成分抽出手段と、当該振動成分抽出手段によって抽出された振動成分に基づいて当該振動成分を打ち消すための振動成分を生成する振動成分生成手段と、前記振動成分抽出手段によって抽出された振動成分と前記振動成分生成手段によって生成された振動成分とを合成する振動成分合成手段と、を有することを特徴とする位置決め装置。
IPC (4):
G05D 3/12 ,  B23Q 5/22 530 ,  G05B 11/36 501 ,  G05D 19/02
FI (4):
G05D 3/12 W ,  B23Q 5/22 530 H ,  G05B 11/36 501 C ,  G05D 19/02 D
F-Term (24):
5H004GA09 ,  5H004GB15 ,  5H004HA07 ,  5H004HB07 ,  5H004JB02 ,  5H004JB29 ,  5H004LB06 ,  5H004MA12 ,  5H004MA14 ,  5H303AA01 ,  5H303BB01 ,  5H303BB06 ,  5H303BB11 ,  5H303CC01 ,  5H303CC06 ,  5H303DD01 ,  5H303DD25 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF08 ,  5H303GG13 ,  5H303HH01 ,  5H303KK35 ,  5H303KK37

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