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J-GLOBAL ID：200903087816303501
流体濃度測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997134920
Publication number (International publication number)：1998325797
Application date： May. 26, 1997
Publication date： Dec. 08, 1998
Summary：
【要約】【課題】 試料となる流体の性質に応じ、精度良く濃度を測定する。【解決手段】 処理液供給配管6に、処理液の流される方向に所定間隔を隔てて、継手20と中継配管6aとを介して3つの第1、第2および第3の測定体21a,21b,21cを接続し、それぞれに、透過する光の光路の長さを異ならせた光透過部22を設ける。濃度設定器で設定される濃度に応じて、第1の光路切換機構15を切り換え、光源からの光を第1、第2および第3の測定体21a,21b,21cの光透過部22のうちのひとつにのみ照射させ、光透過部22を透過した光を光検出器18に入射する。
Claim (excerpt)：
流体の濃度を測定する流体濃度測定装置であって、流体が流される配管に設けられ、前記配管内の流体に光を透過させるための光透過部を有する複数の測定部と、前記光透過部に光を照射する光源と、前記光透過部を透過した光を検出する光検出手段とを備え、前記光透過部は、前記測定部ごとに前記配管内の流体を透過する光の光路の長さが異なっており、前記光検出手段で検出された光に基づいて流体の濃度を測定することを特徴とする流体濃度測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/59 Z
, G01N 21/05
