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J-GLOBAL ID：200903087819889604

面状態検査装置

Inventor： 河野 道生
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991241395
Publication number (International publication number)：1993080497
Application date： Sep. 20, 1991
Publication date： Apr. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ビーム走査型の面状態検査装置の高速性、小型性を損なう事なく、かつレチクル上のチップの配列に左右される事なく常に高精度な検査が行なえる装置を提供する。【構成】 走査用のポリゴンミラー106に入射角を異ならせた2光束を入射させて、反射した2光束によってレチクル109上の同形状パターンA,Bの同じ形状位置を同時に照明しながら、ポリゴンミラーの回転に伴なうビーム走査を行なう。各照射点からの光を別々に検出、比較して異物等の存在を検査する。照射点PA,PBの間隔Jをアクチュエーター400の働きで変化させて、レチクル毎のパターン間隔の変化、誤差に対応する。

Claim (excerpt)：

パターンを有する被検査物体の面状態を検査する装置で、被検査物体上の異なる複数箇所をそれぞれ走査するための複数の走査ビームを形成するビーム走査手段と、前記複数の走査ビームおのおのを前記被検査物体上の複数の同形状パターンそれぞれに対して位置合せすべく前記走査ビームの配置を調整するための調整手段と、前記調整手段によって調整された走査ビームによって走査された前記各同形状パターンからの光をそれぞれ検出するための光検出手段と、を有し、前記光検出手段から得られる各走査ビームに対応した検出信号を比較することによって前記被検査物体の面状態を検査することを特徴とする面状態検査装置。

IPC (5)：

G03F 1/08 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/64 ,  H01L 21/027