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J-GLOBAL ID：200903087829756033

液体マイクロポンプ

Inventor： 江刺 正喜 ,  庄子 習一
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999014089
Publication number (International publication number)：1999257233
Application date： Apr. 15, 1988
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 様々な応用が期待される超小型・液体分析システムに有用な液体マイクロポンプをを提供する。【解決手段】 液体の導出口穴とともに接合面に凹部を有するガラス基板と、液体の導入出口穴を有する中間層シリコン基板と、メサとダイアフラムを有するシリコン基板とを積層し、完全気密接合した構造からなり、中間層シリコン基板の液体出口側に相当する基板表面に逆止弁を有し、ダイアフラムを可動させ逆止弁を開閉させるアクチュエータをダイアフラムの下部に配設してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

液体の導出口穴とともに接合面に凹部を有するガラス基板と、液体の導入出口穴を有する中間層シリコン基板と、メサとダイアフラムを有するシリコン基板とを積層し、完全気密接合した構造からなり、中間層シリコン基板の液体出口側に相当する基板表面に逆止弁を有し、ダイアフラムを可動させ逆止弁を開閉させるアクチュエータをダイアフラムの下部に配設してなることを特徴とする液体マイクロポンプ。

IPC (4)：

F04B 43/04 ,  B62D 57/00 ,  F16K 31/02 ,  F16K 7/14

FI (4)：

F04B 43/04 B ,  F16K 31/02 Z ,  F16K 7/14 Z ,  B62D 57/00 B