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J-GLOBAL ID：200903087874901850

加速度・角速度検出装置

Inventor： 岡崎 光宏 ,  岩崎 純
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994281032
Publication number (International publication number)：1996145683
Application date： Nov. 16, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】 一つの装置で3軸の角速度と3軸の角速度を検出する【構成】 質量体6と、質量体6に接合され、質量体6の変位に応じて変形可能な可撓部2と、可撓部2を支持する周辺支持体1と、可撓部2の変形を検出する変形検出部材12〜23と、質量体6を2次元的に加振する加振部材24〜31とから構成する。

Claim (excerpt)：

質量体と、前記質量体に接合され、前記質量体の変位に応じて変形可能な可撓部と、前記可撓部を支持する周辺支持体と、前記可撓部の変形を検出する変形検出部材と、前記質量体を2次元的に加振する加振部材とからなる加速度・角速度検出装置。

IPC (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/12 ,  G03B 5/00