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J-GLOBAL ID：200903087902858710

ステージ装置とその駆動方法

Inventor： 大森 薫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994298140
Publication number (International publication number)：1996162385
Application date： Dec. 01, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】Yステージ上にVガイドとフラットガイドを介してXステージが載置され、VガイドがXステージの重心からずれた位置にあるステージ装置において、YステージをY方向に沿った第1の向きへ加速した時、XステージがVガイドの面に沿って飛び上がる加速度と、Yステージが第1の向きと逆の第2の向きに加速した時、XステージがVガイドに沿って飛び上がる時の加速度が違う。しかしながら、従来は、低い方の加速度で第1と第2の向きに加速していた。本発明は、Xステージ移動のスループットを上げるため、第1の向きと第2の向きでYステージの加速度を別々に設定した。【構成】第1の加速度を出力する第1出力部と第2の加速度を出力する第2出力部とYステージの移動方向に基づいて第1出力部と第2出力部を選択する選択部を備えた。

Claim (excerpt)：

Yステージと、その上にVガイドとフラットガイドを介して載置されたXステージと、前記YステージをY軸方向に移動させるY軸駆動部とからなり、前記Vガイドの位置が前記Y軸方向で見た時、Xステージの重心から外れた位置にあるステージ装置の駆動方法において、前記重心から前記Y軸方向を見てVガイドのある向きを第1の向き、無い向きを第2の向きとする時、前記Yステージを前記第1の向きに加速する時は、その加速度を、前記第2の向きに加速する時の加速度より大きくする事を特徴とするステージ装置の駆動方法。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G05D 3/12 306 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68