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J-GLOBAL ID：200903087953604438

電気特性測定方法および装置

Inventor： 高橋 毅 ,  三浦 太郎 ,  飯島 康
Applicant, Patent owner： ティーディーケイ株式会社
Agent (1)： 阿部 美次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997282398
Publication number (International publication number)：1999118732
Application date： Oct. 15, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 乾燥ガスによる測定誤差を生じない試料の電気特性測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】 導波装置1を用いて試料の特性を測定するに当たり、導波装置1内に乾燥ガスを導入する。電気特性測定ステップでは、導波装置1内への乾燥ガスの導入を停止する。

Claim (excerpt)：

導波装置を用いて試料の特性を測定する方法であって、前記導波装置内に乾燥ガスを導入するステップと、電気特性測定ステップとを含み、前記電気特性測定ステップにおいて、前記導波装置内への前記乾燥ガスの導入を停止する電気特性測定方法。

IPC (2)：

G01N 22/00 ,  H01P 7/06

FI (5)：

G01N 22/00 J ,  G01N 22/00 T ,  G01N 22/00 V ,  G01N 22/00 Y ,  H01P 7/06