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J-GLOBAL ID：200903087997159598

固体撮像装置及びその製造方法

Inventor： 打矢 聡
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995133573
Publication number (International publication number)：1996330557
Application date： May. 31, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 マイクロレンズ層による集光率を改善し、感度とスミアを向上させ、さらに暗時ノイズレベルや白欠陥の低減を図る。【構成】 遮光膜12及び光電変換部5上にCVD法により単層の絶縁膜を堆積し、その表面を研磨して平坦化することにより、絶縁膜の膜厚を薄くして平坦化膜13を形成し、光電変換部5に対する斜め入射光の集光率を高める。また平坦化膜13を単層とすることにより、不要な屈折・反射を発生させず、さらに平坦化膜13をCVD法により堆積させ、ウェットエッチング技術を採用することにより、暗時ノイズレベルや白欠陥の低減を図る。

Claim (excerpt)：

光電変換部と、電荷転送部と、遮光膜と、平坦化膜と、マイクロレンズ層とを有する固体撮像装置であって、光電変換部は、光電変換して信号電荷を電荷転送部に出力するものであり、電荷転送部は、前記光電変換部からの信号電荷を転送するものであり、遮光膜は、前記電荷転送部を被覆して遮光するものであり、平坦化膜は、気相成長させた絶縁膜からなり、前記光電変換部及び前記遮光膜を被覆して保護するものであって、表面が研摩により平坦化されたものであり、マイクロレンズ層は、前記平坦化膜の平坦化された表面に形成され、光を前記光電変換部に集光するものであることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335

FI (3)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 F ,  H01L 27/14 B