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J-GLOBAL ID：200903088005860660

投影露光装置

Inventor： 西 健爾 ,  木内 徹 ,  村上 成郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995233851
Publication number (International publication number)：1997082601
Application date： Sep. 12, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 或る程度の投影光学系の周囲の大気圧等の環境変化等があっても、投影光学系の非線形倍率誤差、又は像面湾曲等の結像特性が大きく悪化しないようにする。【解決手段】 投影光学系PL1のレンズエレメントを石英からなるレンズエレメント25〜34,35A,38A、及び蛍石よりなるレンズエレメント36A,37Aより構成し、石英からなるレンズエレメントによる非線形倍率誤差、又は像面湾曲を蛍石からなるレンズエレメントの結像特性でほぼ相殺する。残存する線形倍率誤差を、レンズエレメント33,34間の気体室内の気体の圧力の制御によって除去する。

Claim (excerpt)：

所定の露光用の照明光のもとでマスクパターンを投影光学系を介して感光基板上に投影する投影露光装置において、前記投影光学系は、互いに温度変化に対するフォーカス位置の変化への寄与の方向が逆の2つの硝材よりなる2組のレンズエレメントを有し、所定の温度変化に対して前記2組のレンズエレメントを保持する保持部材の伸縮と相まって、前記投影光学系全体としてのフォーカス位置、及び倍率誤差が実質的に変化しないことを特徴とする投影露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 516 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 E