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J-GLOBAL ID：200903088020984457

電子顕微鏡用加熱装置

Inventor： 幾原 雄一 ,  楠 美智子 ,  齋藤 智浩 ,  高須 誠一 ,  河野 智
Applicant, Patent owner： 財団法人ファインセラミックスセンター ,  ニチデン機械株式会社
Agent (1)： 岡田 英彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994164128
Publication number (International publication number)：1996031361
Application date： Jul. 15, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】高温下での高分解能電子顕微鏡観察を容易にかつ確実に行う。【構成】電子顕微鏡内において試料Sを加熱する装置1であって、試料ホルダー4とともに設けられ、レーザービームを鏡筒M内に伝送するファイバー光学系6と、試料ホルダー4上に設けられ、このファイバー光学系6により伝送されたレーザービームを試料ホルダー上の試料Sに集光する固定光学系8とを備え、前記レーザービームで試料Sを加熱する。

Claim (excerpt)：

電子顕微鏡内において試料を加熱する装置であって、試料ホルダーとともに設けられ、レーザービームを鏡筒内に伝送するファイバー光学系と、試料ホルダー上に設けられ、このファイバー光学系により伝送されたレーザービームを試料ホルダー上の試料に集光する固定光学系、とを備え、前記レーザービームにより試料を加熱することを特徴とする電子顕微鏡用加熱装置。

IPC (2)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭60-067665