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J-GLOBAL ID：200903088038435019
流量検出装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994162390
Publication number (International publication number)：1996029224
Application date： Jul. 14, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 同一の半導体基板上に形成された温度検出素子および複数個の発熱素子の平均温度の差が略一定なるようにし、空気の流速検出範囲の拡大を図って、平均化した流量信号を出力可能にする。【構成】 半導体基板10上に熱絶縁部を介して導電材料層11からなる架橋構造の発熱素子40a〜40dおよび温度検出素子41a〜41dを備え、少なくとも上記発熱素子40a〜40dを、上記半導体基板10上に一定間隔を離して複数個並設する。
Claim (excerpt)：
半導体基板上に熱絶縁部を介して導電材料層からなる架橋構造の発熱素子および温度検出素子を備えた流量制御装置において、少なくとも上記発熱素子が、上記半導体基板上に一定間隔を離して複数個並設されていることを特徴とする流量検出装置。
IPC (2)：
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