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J-GLOBAL ID：200903088039919788

セラミックス微粒子の製造方法及びその装置

Inventor： 大島 賢太郎 ,  沼田 敏晴 ,  西村 徹 ,  小久保 佐知子 ,  傳 慶一
Applicant, Patent owner： 花王株式会社
Agent (1)： 細田 芳徳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993128035
Publication number (International publication number)：1994247712
Application date： Apr. 30, 1993
Publication date： Sep. 06, 1994
Summary：

【要約】【構成】一種類、又は複数種類の金属化合物を気化させて原料ガスとし、該原料ガスをキャリアーガスにより、静止した外円筒と回転可能な内円筒を有する共軸二重円筒型反応装置の内外円筒間の環状部に設けられた反応空間に供給し、内円筒を回転させながら該反応空間内で該原料ガスを反応せしめることを特徴とするセラミックス微粒子の製造方法及びその装置。【効果】本発明によれば、CVD反応場の流れとして、テイラー渦流を採用したことにより、その渦流内での温度分布、反応ガス濃度分布及び渦流内に閉じこめられた生成微粒子の滞留時間が均一となり、高収率で均一な微粒子を得ることが可能となる。また、核微粒子の反応空間への供給や原料ガスを二箇所以上の供給口より反応空間に供給することにより、各層の厚さの均一な複層構造微粒子を高収率で得ることができる。

Claim (excerpt)：

一種類、又は複数種類の金属化合物を気化させて原料ガスとし、該原料ガスをキャリアーガスにより、静止した外円筒と回転可能な内円筒を有する共軸二重円筒型反応装置の内外円筒間の環状部に設けられた反応空間に供給し、内円筒を回転させながら該反応空間内で該原料ガスを反応せしめることを特徴とするセラミックス微粒子の製造方法。

IPC (3)：

C01G 1/00 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/18