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J-GLOBAL ID：200903088042689858
液晶層厚測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991172611
Publication number (International publication number)：1993018859
Application date： Jul. 12, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】液晶セルの液晶層厚を能率良く測定する。【構成】レーザ11と光検出器12との間に偏光子13と光弾性変調器14と検光子15とを配置した光学系を用い、その光弾性変調器14と検光子15との間に液晶セル20を配置して、液晶セル20を光学系の光軸Oに沿う線を中心として回転させながら、液晶セル20を透過した光の強度を光検出器15で検出し、この検出光の直流成分および周波数成分と、既知の値である、液晶セル20の液晶24の複屈折性と液晶分子ツイスト角とから、液晶セル20の液晶層厚を算出する。
Claim (excerpt)：
液晶セルの液晶層厚を測定する方法において、レーザとこのレーザからの光を検出する光検出器との間に偏光子と光弾性変調器と検光子とをそれぞれ前記レーザからの光の光軸に対して垂直に配置した光学系を用い、この光学系の光弾性変調器と検光子との間に、前記液晶セルをその基板面を前記光軸に対して垂直にして配置して、この液晶セル、あるいは前記光学系の偏光子と光弾性変調器と検光子とを、前記光軸に沿う線を中心として回転させながら、前記レーザからの光を前記偏光子と光弾性変調器とを介して前記液晶セルに入射させるとともにこの液晶セルを透過した光の強度を前記検光子を介して前記光検出器で検出し、この光検出器で検出した光の直流成分および周波数成分と、既知の値である、液晶セルの液晶の複屈折性と液晶分子のツイスト角とから、液晶層厚を算出することを特徴とする液晶層厚測定方法。
IPC (2)：
G01M 11/00
, G02F 1/13 101
