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J-GLOBAL ID：200903088043537962

マイクロ・コンタクト・プリンティング・エンジン

Inventor： リチャード シムズ
Applicant, Patent owner： マイクロサイク システムズ リミテッド
Agent (2)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006148885
Publication number (International publication number)：2006326832
Application date： May. 29, 2006
Publication date： Dec. 07, 2006
Summary：

【課題】専用のインク付け、位置合せおよびスタンプ機器を必要としない、正確に位置合せされたマルチレベル・マイクロ・コンタクト・プリンティングの方法を提供すること。【解決手段】微細機械加工された部品から、ダイ・サイズのマイクロ・コンタクト・プリンティング・エンジンが構築され、このエンジンは、精密位置合せ機構を、弾性サスペンション上に支持されたスタンパ・ブロックと連結している。このスタンパは盛り上がったパターンを有し、位置合せ機構は、エッチングされたインクウェル上および基板上の対応する機構と対合し、マイクロアクチュエータを使用してこのパターンが転写される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

少なくとも1つの機械的位置合せ機構に、弾性サスペンションによって連結されたプリント面を含み、前記サスペンションは、前記少なくとも1つの位置合せ機構に対する、非動作位置から動作位置への前記プリント面の移動を可能にすることを特徴とするマイクロ・コンタクト・プリンティング・エンジン。

IPC (2)：

B81C 5/00 ,  H01L 21/027

FI (2)：

B81C5/00 ,  H01L21/30 502D

F-Term (1)：

5F046AA28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 米国特許第5512131号明細書、クマール A.、ホワイトサイズ G.M.1993、「表面におけるマイクロスタンプされたパターンの形成および派生物品」、