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J-GLOBAL ID：200903088046144180

変位測定装置

Inventor： 黒木 博 ,  安達 聡 ,  中山 賢一 ,  高橋 哲人
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (1)： 伊丹 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998285247
Publication number (International publication number)：2000111360
Application date： Oct. 07, 1998
Publication date： Apr. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 確実なギャップ調整が可能であり、且つ電気的及び機械的特性に優れた摺動保護膜を持つ変位測定装置を提供する。【解決手段】 スケール部材1とセンサヘッド2を摺動させて相対移動させる静電容量式エンコーダが構成される。スケール部材1の転送電極12が形成された面、及びセンサヘッド2の送受信電極22が形成された面は、それぞれ摺動保護膜13,23により覆われる。摺動保護膜13,23は、塗布型絶縁膜と、プラズマCVDによるDLC膜の積層膜により形成される。

Claim (excerpt)：

スケール部材と、このスケール部材に対向して相対移動可能に配置されたセンサヘッドとを有する変位測定装置において、前記スケール部材とセンサヘッドの相対向する面の少なくとも一方に、平坦に形成された絶縁膜と、この絶縁膜の上に積層形成されたダイヤモンドライクカーボン膜とを有する摺動保護膜が形成されていることを特徴とする変位測定装置。

IPC (2)：

G01D 5/241 ,  G01B 7/00

FI (2)：

G01D 5/24 A ,  G01B 7/00 K

F-Term (15)：

2F063AA02 ,  2F063CA30 ,  2F063EA02 ,  2F063HA05 ,  2F063HA10 ,  2F063HA18 ,  2F077AA42 ,  2F077AA46 ,  2F077NN05 ,  2F077PP01 ,  2F077VV09 ,  2F077VV11 ,  2F077VV29 ,  2F077VV33 ,  2F077VV35