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J-GLOBAL ID：200903088053343589

X線撮像装置

Inventor： 宮口 和久 ,  村木 哲彦
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992095444
Publication number (International publication number)：1993285128
Application date： Apr. 15, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 X線照射量のモニタをリアルタイムで正確に行なう。【構成】 被写体3にX線を投射するX線源1と、被写体を透過したX線の入射により発光するシンチレータ23と、シンチレータからの光を検出する固体撮像素子21とを備えるX線撮像装置において、固体撮像素子21は、シンチレータからの光を光電変換する受光領域と、この受光領域からの信号電荷を転送する電荷転送領域との少なくとも一方を含む第1導電型の埋込チャンネルが表面側に形成された第2導電型の半導体基板を有して構成される。そして半導体基板と埋込チャンネルとのPN接合により構成されるフォトダイオードの光電流出力を検出して、X線の照射量をモニタするモニタ手段を備える。本発明によれば、固体撮像素子自身に形成されるPN接合の光電流出力でモニタするので、被写体からの信号を直接に、かつリアルタイムで監視できる。したがって、このモニタ出力を用いて、X線源の出力を正確にコントロールできる。

Claim (excerpt)：

被写体にX線を投射するX線源と、前記被写体を透過した前記X線源からのX線の入射により発光するシンレータと、前記シンチレータからの光を検出する固体撮像素子とを備えるX線撮像装置において、前記固体撮像素子は、前記シンチレータからの光を光電変換する受光領域と、この受光領域からの信号電荷を転送する電荷転送領域との少なくとも一方を含む第1導電型の埋込チャンネルが表面側に形成された第2導電型の半導体基板を有して構成され、前記半導体基板と前記埋込チャンネルとのPN接合により構成されるフォトダイオードの光電流出力を検出して前記X線源からのX線の照射量をモニタするモニタ手段を備えることを特徴とするX線撮像装置。

IPC (5)：

A61B 6/00 ,  G01T 1/166 ,  H01L 21/66 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09

FI (3)：

A61B 6/00 303 F ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 A