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J-GLOBAL ID：200903088056292438
プラズマエツチヤーのエンドポイント検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991225561
Publication number (International publication number)：1993062944
Application date： Sep. 05, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】プラズマ光全体の時間的ドリフトの影響を無くして、所望の発光スペクトルを検出する。【構成】分光器30において、所定のプラズマ光スペクトル強度を光検出器31によって測定する際に、すべての波長を含んだプラズマ光を光検出器72によって同時に検出し、制御・演算回路40において、所定のプラズマ光強度をすべての波長を含んだプラズマ光強度で補正する。
Claim (excerpt)：
プラズマエッチャーのチャンバ内で発生するプラズマ光を集光レンズにより分光器の入射スリットに集束させ、エッチングによる化学反応で発生したガスのプラズマ発光スペクトルを分光して取り出し、その強度変化をモニタしながらエッチング終了時間を制御するプラズマエッチャーのエンドポイント検出装置において、前記集光レンズと入射スリットとの間に配置され、前記プラズマ光を前記入射スリットおよびこれと異なる方向に分割する光学部材と、この異なる方向に分割されたプラズマ光が集束される平面に配置された光電変換素子と、前記分光器の分光出力スペクトル強度を前記光電変換素子の出力で補正する演算手段と、を有することを特徴とするプラズマエッチャーのエンドポイント検出装置。
Patent cited by the Patent：
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