力センサ付きマイクロマニピュレータ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998144202
Publication number (International publication number)：1999333765
Application date： May. 26, 1998
Publication date： Dec. 07, 1999
Summary：

【要約】【課題】マニピュレータとセンサとを別体にして、ハンドリング物体に対応したハンドリング部を形成でき、かつ、一つの力センサを備えて3軸方向の検出ができる力センサ付きマイクロマニピュレータを提供する。【解決手段】マイクロマニピュレータのハンドリング部11は、ガラス製であって、管状に形成され、その中央外周には、力センサ12が設けられている。力センサ12の中央厚肉部14は基台13に対してX軸上の2個所で薄肉支持部16、17により、かつY軸上の2個所で薄肉支持部18、19により連結されている。薄肉支持部16〜19の上側に拡散によって形成されたピエゾ抵抗素子である2本の歪抵抗ゲージR1〜R8からなる歪抵抗ゲージ群20〜23が設けられている。

Claim (excerpt)：

基台(13)と、前記基台(13)に対して内方に離間配置された厚肉状の中央厚肉部(14)と、少なくとも同一直線上の2個所で前記中央厚肉部(14)と前記基台(13)とを連結して同中央厚肉部(14)を支持する薄肉状の第1支持部(16,17)と、少なくとも前記同一直線上の2箇所で前記中央厚肉部(14)を支持する第1支持部(16,17)を結ぶ直線に対して垂直な同一直線上の2箇所で前記中央厚肉部(14)と前記基台(13)とを連結して前記中央厚肉部(14)を支持する薄肉状の第2支持部(18、19)と、前記第1支持部(16,17)及び第2支持部(18、19)上に形成された歪みゲージ(R1〜R8)とを備えた力センサ(12)と、前記第1支持部(16,17)を結ぶ直線と第2支持部(18、19)を結ぶ直線の交点上における前記力センサ(12)の中央厚肉部(14)において、微小な対象物をハンドリングするためのハンドリング部(11、45)が連結固定され、同ハンドリング部が前記一対の直線に対して直交する直線に沿って配置されている力センサ付きマイクロマニピュレータ。

IPC (4)：

B25J 7/00 , B25J 19/02 , C12M 1/00 , G01L 5/16

FI (4)：

B25J 7/00 , B25J 19/02 , C12M 1/00 A , G01L 5/16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

実体顕微鏡下において仮想臨場感再現機構によって作業する作業装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-170244 Applicant：栗本育三郎, 舘すすむ
特開平1-316193
特開平1-321330

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