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J-GLOBAL ID:200903088070078422
光学装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
伊東 忠彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995159141
Publication number (International publication number):1997005586
Application date: Jun. 26, 1995
Publication date: Jan. 10, 1997
Summary:
【要約】【目的】 本発明は複数の光部品が位置合わせされる光学装置に関し、光部品間の位置合わせの精度、光軸高さ調整の自由度の向上を図ることを目的とする。【構成】 基板22上に、異方性エッチングにより、光ファイバ24を嵌合するガイド溝26を形成すると共に、半導体レーザ23に形成されたバンプ27を嵌合する所定数の溝25を形成する。そして、基板22の溝25に半導体レーザ23のバンプ27を嵌合して固着し、ガイド溝26に光ファイバ24を嵌合して固着することで光軸を一致させて光結合させる構成とする。
Claim (excerpt):
嵌合部が形成された少なくとも1個の第1の光部品を基板に形成した該第1の光部品の嵌合部と嵌合する第1の部品嵌合部に嵌合させて位置決め固定し、かつ少なくとも1個の第2の光部品を基板に形成した該第2の光部品と嵌合する第2の部品嵌合部に嵌合させて位置決め固定して該第1の光部品と該第2の光部品とを光結合してなり、前記基板の前記第1及び第2の部品嵌合部が、共に半導体製造と同一の加工手段で同時に加工工程を進行させて形成されてなることを特徴とする光学装置。
IPC (3):
G02B 6/42
, G02B 6/26
, G02B 6/30
FI (3):
G02B 6/42
, G02B 6/26
, G02B 6/30
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