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J-GLOBAL ID：200903088078339446
熱式半導体フローセンサ及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 弘男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994168067
Publication number (International publication number)：1996029226
Application date： Jul. 20, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 1個のセンサで4桁以上に亙る広い範囲の流速を計測し得ると共に、電力の消費も少なく、単純かつ超小型構造を有し、安価な製造コストで大量生産され得る熱式半導体フローセンサを提供することである。【構成】 半導体微細加工技術を用いてシリコン基板10上に一体的に形成された検出手段を含む熱式半導体フローセンサであって、該検出手段が互いに異なる熱容量を有するように互いに隣接して形成され、それぞれヒータ線を有する複数個の検出部分1a,1b,1c(2a,2b,2cまたは3a,3b,3c)を備える。
Claim (excerpt)：
半導体微細加工技術を用いてシリコン基板上に一体的に形成された検出手段を含む熱式半導体フローセンサにおいて、前記検出手段が、互いに異なる熱容量を有するように互いに隣接して形成された複数個の検出部分からなることを特徴とする熱式半導体フローセンサ。
IPC (2)：
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