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J-GLOBAL ID:200903088146109276
液体の脱気システム及び液体の脱気方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003042286
Publication number (International publication number):2004249215
Application date: Feb. 20, 2003
Publication date: Sep. 09, 2004
Summary:
【課題】液体中の溶存空気量を調整でき、また、脱気膜の寿命の長い脱気装置とすることを課題とする。【解決手段】膜脱気装置14へ送水される脱気前の塗布液又は膜脱気装置14から排水された脱気後の塗布液Lの少なくとも一方の溶存酸素量が溶存酸素測定器30、32によって測定される。測定結果に基づき、制御部34が真空バルブ22の開度を調整することで、膜脱気装置14の脱気度を変えて塗布液中の溶存酸素量の変動を抑える。また、脱気膜18に常時同じ負荷が作用しないため、脱気膜18の寿命が長くなり、ランニングコストを下げることができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
液体中の溶存空気を除去する液体の脱気システムにおいて、
脱気装置へ送水される脱気前の液体又は該脱気装置から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の液体の溶存空気量を検出する溶存空気量検出手段と、
前記脱気装置が脱気する溶存空気量の脱気量を変える脱気調整手段と、
前記溶存空気量検出手段の検出結果に基づき前記脱気調整手段を制御して前記脱気装置の脱気度を調整する制御手段と、を有することを特徴とする液体の脱気システム。
IPC (1):
FI (2):
B01D19/00 101
, B01D19/00 H
F-Term (8):
4D011AA16
, 4D011AA17
, 4D011AC01
, 4D011AC04
, 4D011AC05
, 4D011AC06
, 4D011AD01
, 4D011AD06
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