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J-GLOBAL ID：200903088182454184

透明導電膜形成用材料とその製造方法、透明導電膜、タッチパネルとその製造方法、プラズマディスプレイとその製造方法、太陽電池とその製造方法、導電性フィルムとその製造方法、熱線反射ガラスとその製造方法、液晶表示装置とその製造方法、無機エレクトロルミネッセンス素子とその製造方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子とその製造方法

Inventor： 地主 啓一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社フルヤ金属
Agent (1)： 柳瀬 睦肇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001293502
Publication number (International publication number)：2002260447
Application date： Sep. 26, 2001
Publication date： Sep. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】 製品における高効率化、低コスト化を図ることが可能な透明導電膜、透明導電膜形成用材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る透明導電膜は、酸化インジウムを主成分とし、酸化ゲルマニウムを0.1重量パーセント以上5.0重量パーセント以下含有し、更に、酸化珪素を0.1重量パーセント以上5.0重量パーセント以下含有する材料からなる透明導電膜であって、前記材料からスパッタリングターゲットを作製し、このスパッタリングターゲットを用いてスパッタリング法により薄膜を形成して得られる。

Claim (excerpt)：

酸化インジウムを主成分とし、酸化ゲルマニウムを0.1重量パーセント以上5.0重量パーセント以下含有し、更に、酸化珪素を0.1重量パーセント以上5.0重量パーセント以下含有することを特徴とする透明導電膜形成用材料。

IPC (11)：

H01B 5/14 ,  C03C 17/245 ,  C04B 35/495 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/34 ,  G09F 9/30 337 ,  H01H 1/02 ,  H01H 11/00 ,  H01L 31/04 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/28

FI (11)：

H01B 5/14 A ,  C03C 17/245 A ,  C23C 14/24 E ,  C23C 14/34 A ,  G09F 9/30 337 ,  H01H 1/02 Z ,  H01H 11/00 G ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/28 ,  C04B 35/00 J ,  H01L 31/04 M

F-Term (58)：

3K007AB18 ,  3K007CB01 ,  3K007EB00 ,  3K007EC00 ,  3K007FA01 ,  4G030AA34 ,  4G030AA37 ,  4G030AA38 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030BA16 ,  4G030GA14 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4G059AA01 ,  4G059AA08 ,  4G059AC06 ,  4G059AC12 ,  4G059EA01 ,  4G059EA03 ,  4G059EA05 ,  4G059EB04 ,  4K029BA45 ,  4K029BC07 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5C094AA44 ,  5C094BA27 ,  5C094BA31 ,  5C094BA43 ,  5C094EA05 ,  5F051AA05 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06 ,  5F051GA03 ,  5F051HA01 ,  5G023AA01 ,  5G023CA19 ,  5G050AA16 ,  5G050AA19 ,  5G050AA43 ,  5G050BA12 ,  5G050CA05 ,  5G050CA13 ,  5G050CA16 ,  5G050DA10 ,  5G050EA09 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09