物体浮揚装置及びこれを具備した物体搬送装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：羽切正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995172766
Publication number (International publication number)：1997008097
Application date： Jun. 15, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】ウェーハ等の物体を完全に非接触状態にて搬送し得ると共に、水平方向のみならず垂直方向及び斜め方向の搬送も可能とし、しかも方向転換も自在に行えるなど、搬送経路の制限がない物体浮揚装置及び物体搬送装置を提供すること。【構成】物体20を浮揚せしめるべく振動体15が発生する音波の放射圧を、該振動体の外周側が中央側に比して大であるようになし、以て、該物体を該振動体の中央位置に静止状態とする。そして、この振動体をアーム式ロボット3やエレベータ等の搬送手段により適宜の方向に搬送することとし、上記の効果を得ている。

Claim (excerpt)：

振動体と、該振動体を励振する超音波励振手段とを備え、該振動体の音波の放射圧によって該振動体の表面上に物体を浮揚させ、前記放射圧が、前記振動体の外周側が中央側に比して大であるように設定されていることを特徴とする物体浮揚装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

FI (3)：

H01L 21/68 A , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭62-268141
物体浮揚装置を具備した物体搬送装置並びに物体搬送方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-305781 Applicant：株式会社カイジョー
特開平2-008121

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