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J-GLOBAL ID：200903088194556489

圧電体薄膜素子及びこれを用いたインクジェット式記録ヘッド

Inventor： 村井 正己
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996313830
Publication number (International publication number)：1997232644
Application date： Nov. 25, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 優れた耐久性及び信頼性を備えた圧電体素子と、この圧電体素子を備え、優れた解像度及び信頼性を備えたインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 単結晶シリコン基板101上に形成した二酸化シリコン膜201と、二酸化シリコン膜201上に形成した白金下部電極104と、この上に形成した圧電体膜105と、この上に形成した上部電極106と、を備え、白金下部電極104の膜厚(X)と、二酸化シリコン膜105の膜厚(Y)との関係を、0.5≦X/Y≦4であり、かつ3000Å≦X≦2μmとした。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された二酸化シリコン膜と、当該二酸化シリコン膜上に形成された白金下部電極と、当該白金下部電極上に形成された圧電体膜と、当該圧電体膜上に形成された上部電極と、を備えてなる圧電体薄膜素子であって、前記白金下部電極の膜厚(X)と、前記二酸化シリコン膜の膜厚(Y)との関係が、0.5≦X/Y≦4であり、かつ3000Å≦X≦2μmである圧電体薄膜素子。

IPC (5)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C30B 29/32 ,  H01L 41/187

FI (4)：

H01L 41/08 C ,  C30B 29/32 Z ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/18 101 D