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J-GLOBAL ID：200903088218335802

Bi系誘電体薄膜形成用塗布液及びこれを用いて形成した誘電体薄膜

Inventor： 橋本 晃 ,  澤田 佳宏 ,  逢坂 哲彌 ,  小岩 一郎 ,  見田 充郎 ,  金原 隆雄
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社 ,  沖電気工業株式会社
Agent (1)： 長谷川 洋子 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996122565
Publication number (International publication number)：1997286619
Application date： Apr. 19, 1996
Publication date： Nov. 04, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 実用的な有機溶媒に可溶な有機金属化合物、及びこれを含有する、緻密な膜が形成可能なBi系誘電体薄膜形成用塗布液及びこれを用いて形成したBi系誘電体薄膜を安価に提供する。【解決手段】 下記一般式(I){式中、AはCa、Ba、Sr、Pb、及びBiの中から選ばれる少なくとも1種の金属元素であり;BはTi、Nb及びTaの中から選ばれる少なくとも1種の金属元素である}で表されるBi系誘電体薄膜を形成するための塗布液であって、(イ)各金属元素に対応する化合物がそれぞれ独立してアルコキシ金属類、β-ジケトン金属錯体類、及び酢酸金属塩の中から選ばれる少なくとも1種と(ロ)アルコール類、無水カルボン酸類、グリコール類、β-ジケトン類、及びジカルボン酸モノエステル類の中から選ばれる少なくとも1種とを反応させて得られる化合物からなる、Bi系誘電体薄膜形成用塗布液。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)【化1】{式中、AはCa、Ba、Sr、Pb、及びBiの中から選ばれる少なくとも1種の金属元素であり;BはTi、Nb及びTaの中から選ばれる少なくとも1種の金属元素であり;1≦x≦4、0.5≦a≦2、2≦b≦5、y=〔3x+a(A金属元素の価数)+b(B金属元素の価数)〕/2である}で表されるBi系誘電体薄膜を形成するための塗布液であって、(イ)(1)Bi、(2)A金属元素、及び(3)B金属元素に対応する化合物がそれぞれ独立してアルコキシ金属類、β-ジケトン金属錯体類、及び酢酸金属塩の中から選ばれる少なくとも1種からなり、該(1)〜(3)の各金属元素に対応する各対応化合物をそれぞれ少なくとも1種と、(ロ)アルコール類、無水カルボン酸類、グリコール類、β-ジケトン類、及びジカルボン酸モノエステル類の中から選ばれる少なくとも1種とを反応させて得られる化合物からなる、Bi系誘電体薄膜形成用塗布液。

IPC (5)：

C01G 29/00 ,  C01G 33/00 ,  C01G 35/00 ,  C09D 1/00 PCJ ,  H01B 3/00

FI (5)：

C01G 29/00 ,  C01G 33/00 A ,  C01G 35/00 C ,  C09D 1/00 PCJ ,  H01B 3/00 F