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J-GLOBAL ID：200903088240514133

静電チャック

Inventor：
北林 徹夫

About 北林 徹夫


Applicant, Patent owner：
東陶機器株式会社

About 東陶機器株式会社


Agent (1)： 下田 容一郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992080416
Publication number (International publication number)：1993243367
Application date： Mar. 02, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】 静電チャックの絶縁層からウェハへの不純物の拡散を抑制しつつ静電力が低下しないようにする。【構成】 静電チャックは基板1上に絶縁層2を形成し、これら基板1と絶縁層2の間に電極3を形成し、この電極3をリード線4を介して直流電源5に接続し、絶縁層2の表面には保護膜6を形成し、この保護膜6の材料としてはSi3N4、SiC、SiO2等のSiを含有するセラミック材料、またはAlN、BN、C(ダイヤモンド)等の熱伝導率の高い材料等の中から絶縁層2の材料との関係において選択する。具体的には絶縁層2の体積固有抵抗値ρと保護膜6の体積固有抵抗値ρvとが、ρv/ρ≧ 10-1となるものを選定する。
Claim (excerpt)：
絶縁層内または絶縁層と基板との間に内部電極を設けるとともに絶縁層表面に保護膜を形成した静電チャックにおいて、前記絶縁層の体積固有抵抗値ρと前記保護膜の体積固有抵抗値ρvとを以下の関係になるようにしたことを特徴とする静電チャック。
IPC (4)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/265 ,  H02N 13/00
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 特開昭59-057446
  • 特開昭61-152497
  • 特開昭62-134798
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