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J-GLOBAL ID：200903088241300633
圧電型振動センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993002134
Publication number (International publication number)：1994201722
Application date： Jan. 08, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 z軸方向における検出精度を向上させる。【構成】 台座21上に膜状圧電体26および荷重体25を積層した構造を有する。圧電体26の一方の面に直交し、該圧電体26のほぼ中心を通る直線(z軸)方向の振動を検出するz軸用振動センサ24と、z軸方向に直交するx軸方向の振動を検出するx軸用振動センサ22と、z軸、x軸にそれぞれ直交するy軸方向の振動を検出するy軸用振動センサ23とを有する。z軸用振動センサ24は、z軸方向の変位を検出するz軸用圧電体26と、該z軸用圧電体26の表裏面全体にわたってそれぞれ配置された第一の電極とz軸用電極33とを有する。【効果】 圧電体に複数の分割電極を設ける場合に比べ、z軸用電極の面積を大きく形成できるから、荷重体の重心の位置が多少ずれた場合でも、クロストークを低い値に抑さえることができるから、z軸方向の検出精度を向上できる。
Claim (excerpt)：
台座上に膜状圧電体および荷重体を積層した構造を有する圧電型振動センサであって、前記圧電体の一方の面に直交し、該圧電体のほぼ中心を通る直線をz軸とし、該z軸に垂直な互いに直交する二本の直線をそれぞれx軸、y軸としたとき、前記z軸方向の振動を検出するz軸用振動センサと、前記x軸方向の振動を検出するx軸用振動センサと、前記y軸方向の振動を検出するy軸用振動センサとを有してなり、前記z軸用振動センサは、z軸方向の変位を検出するz軸用圧電体と、該z軸用圧電体の表裏面全体にわたってそれぞれ配置された電極とを有する構成にされ、前記x軸用振動センサは、x軸方向の変位を検出するx軸用圧電体を有する構成にされ、前記y軸用振動センサは、y軸方向の変位を検出するy軸用圧電体を有する構成にされ、これらz軸用圧電体とx軸用圧電体とy軸用圧電体とは、z軸方向に沿って積み重ねられていることを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (2)：
G01P 15/09
, H04R 17/00 330
