Pat

J-GLOBAL ID：200903088250948867

ウエハ湿式処理装置

Inventor： 樋本 宣也
Applicant, Patent owner： 住友精密工業株式会社
Agent (1)： 生形 元重 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993179849
Publication number (International publication number)：1995014812
Application date： Jun. 25, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 大径ウエハの処理を可能とする。パーティクルを少なくする。薬液コストを下げる。【構成】 各ステージで1枚ずつウエハを処理する枚葉式ウエハ処理ユニット20,30を設ける。処理ユニット20,30で使用する薬液を可能な限り薬液生成部50でつくる。薬液生成部50は過酸化水素の代わりにオゾンを使用する。

Claim (excerpt)：

各ステージで1枚ずつウエハに処理液を吹き付ける枚葉式ウエハ処理ユニットと、該枚葉式ウエハ処理ユニットで使用する各種薬液を生成するための複数のガス源を有し、各ガスを液体に混合して薬液となすと共に、複数のガス源の一つがオゾナイザーである薬液生成部とを具備することを特徴とするウエハ湿式処理装置。

IPC (2)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304